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干式真空泵的主要应用

点击次数:   更新时间:17/06/06 09:34:06     来源:www.danruizk.com关闭分    享:

干式真空泵

  干式真空泵在很多应用场合达到了理想的使用效果,工作容积中无油,更加耐用,可靠。

  1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
  4、干式真空泵适用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止了有机溶剂造成污染;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  干式真空泵在应用中维护少,更加省时省力,同时也减少了污染的危害。

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